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產品分類

產品信息
產品名稱：OTSUKA廣州代理OTSUKA 顯微晶圓厚度檢測設備 SF-3000M 大塚電子
產品型號：OTSUKAOTSUKA SF-3000M
生產廠商：OTSUKA大塚電子
產品數量：不限
產品單價：電議

OTSUKA大塚電子廣州代理,大塚電子廣州代,OTSUKA大塚電子廣州代理,藤野貿易（廣州）有限公司,OTSUKA大塚電子代理商. 顯微晶圓厚度檢測設備SF-3000M日本OTSUKA大塚電子顯微晶圓厚度檢測設備SF-3000M日本OTSUKA大塚電子顯微晶圓厚度檢測設備SF-3000M日本OTSUKA大塚電子顯微晶圓厚度檢測設備SF-3000M日本OTSUKA大塚電子顯微晶圓厚度檢測設備SF-3000M日本OTSUKA大塚電子顯微晶圓厚度檢測設備SF-3000M日本OTSUKA大塚電子 特　長
顕微光學系の採用によりTSVビア裏面のSi厚み測定が可能 0.5～1600µmのSi厚み測定 微小位置観察カメラによる測定位置の自動位置決め精度 畫像認識によるオリフラ?ノッチ角度検出精度５秒以內 分光干渉法により非接觸?非破壊で高い再現性を実現 貼り合せウェーハの薄膜ボンディング、Si厚み、サポート基板のトータル厚み測定 多層厚み測定が可能 オリフラ、ノッチの畫像認識によるウェーハ面內高精度位置決めを実現
測定項目
微小領域の厚み測定、 膜厚解析 仕　様
型式 SF-3000M 光學系 顕微光學系 厚み測定範囲 0.5 ～ 1600µm 可動軸 XY 測定徑 φ3 ～ φ70µｍ ステージ面サイズ φ300 mm 可動軸ストローク ＸＹ軸:±150㎜ ウェーハサイズ 300 ｍｍ以下 計測時間 61 ポイント / 120s 以下 * 大駆動速度 140 ｍｍ /s ステージ分解能 0.1 µm以下 繰り返し位置決め精度 1 µｍ以下 その他機能 畫像処理によるオリフラ及びノッチ合わせ機能 吸著 あり 特注 アライメント対応、ローダ対応 *　高精度位置決めモードの場合



OTSUKA大塚電子廣州代理,大塚電子廣州代,OTSUKA大塚電子廣州代理,藤野貿易（廣州）有限公司,OTSUKA大塚電子代理商.

藤野貿易（廣州）有限公司
地址：廣州市天河區中山大道中138號匯勤商業大廈715室
： -
郵編：510000
郵箱：zhf#fujinotrade.com
網址：www.fujinotrade.com 或　www.fujino.net.cn

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本司代理優勢：(歡迎來電詢價)
SOLAX/SERIC索納克斯，FUNATECH船越龍，DSK電通產業，HIKARIYA光屋，ORIHARA折原
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